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总部位于深圳,依托中科院微电子 所设立北京研发中心和苏州应用服务中心。自主研发的产 品有:三维形貌量测系统,表面缺陷检测系统,三维坐标 尺度量测系统,智能视觉检测系统。四款产品填补了国内 精密制造检测设备的空白,打破国际垄断。公司 2016 年 被认定为深圳市高新技术企业和中国集成电路测试仪器与 装备产业技术创新联盟理事单位。
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